超高感度スピン歪検知素子およびスピンMEMSマイクロフォンの開発に関するレビュー (特集 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 藤 慶彦原 通子東 祥弘加治 志織増西 桂永田 友彦湯澤 亜希子大津 賢治岡本 和晃馬場 祥太郎小野 富男堀 昭男福澤 英明
- 並列タイトル等
- An Ultra-sensitive Spintronic Strain-gauge Sensor and a Spin-MEMS Microphone
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 138(7):2018.7
- 掲載巻
- 138
- 掲載号
- 7