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資料種別 記事・論文

波長160nmの真空紫外光照射による高分子材料の表面改質と固体間直接接合

橋本 優生,山本 貴富喜

詳細情報

タイトル 波長160nmの真空紫外光照射による高分子材料の表面改質と固体間直接接合
著者 橋本 優生
著者 山本 貴富喜
出版地(国名コード) JP
出版地[東京]
出版社Institute of Electrical Engineers of Japan
出版年月日等 34:2017.10.31-11.2
別タイトル Surface Modification and Solid State Direct Bonding between Polymeric Materials by Illuminating 160 nm Vacuum Ultraviolet Light
出版年(W3CDTF) 2017
件名(キーワード) 真空紫外光
件名(キーワード) 表面改質
件名(キーワード) 固体間直接接合
件名(キーワード) ポリカーボネート
件名(キーワード) シクロオレフィンポリマー
件名(キーワード) アクリル樹脂
件名(キーワード) ポリジメチルシロキサン
件名(キーワード) マイクロ流体デバイス
件名(キーワード) Vacuum Ultraviolet Light
件名(キーワード) Surface Modification
件名(キーワード) Solid State Direct Bonding
件名(キーワード) Polycarbonate
件名(キーワード) Cyclic Olefin Polymer
件名(キーワード) Acrylic Resin
件名(キーワード) Polydimethylsiloxane
件名(キーワード) Microfluidic Device
NDLC ZN33
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000010643656-00
掲載誌名 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
掲載巻 34
掲載ページ 1-5
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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