記事・論文
| タイトル | 波長160nmの真空紫外光照射による高分子材料の表面改質と固体間直接接合 |
|---|---|
| 著者 | 橋本 優生 |
| 著者 | 山本 貴富喜 |
| 出版地（国名コード） | JP |
| 出版地 | [東京] |
| 出版社 | Institute of Electrical Engineers of Japan |
| 出版年月日等 | 34:2017.10.31-11.2 |
| 別タイトル | Surface Modification and Solid State Direct Bonding between Polymeric Materials by Illuminating 160 nm Vacuum Ultraviolet Light |
| 出版年(W3CDTF) | 2017 |
| 件名（キーワード） | 真空紫外光 |
| 件名（キーワード） | 表面改質 |
| 件名（キーワード） | 固体間直接接合 |
| 件名（キーワード） | ポリカーボネート |
| 件名（キーワード） | シクロオレフィンポリマー |
| 件名（キーワード） | アクリル樹脂 |
| 件名（キーワード） | ポリジメチルシロキサン |
| 件名（キーワード） | マイクロ流体デバイス |
| 件名（キーワード） | Vacuum Ultraviolet Light |
| 件名（キーワード） | Surface Modification |
| 件名（キーワード） | Solid State Direct Bonding |
| 件名（キーワード） | Polycarbonate |
| 件名（キーワード） | Cyclic Olefin Polymer |
| 件名（キーワード） | Acrylic Resin |
| 件名（キーワード） | Polydimethylsiloxane |
| 件名（キーワード） | Microfluidic Device |
| NDLC | ZN33 |
| 対象利用者 | 一般 |
| 資料の種別 | 記事・論文 |
| 掲載誌情報（URI形式） | https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000010643656-00 |
| 掲載誌名 | 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] |
| 掲載巻 | 34 |
| 掲載ページ | 1-5 |
| 言語（ISO639-2形式） | jpn : 日本語 |
