記事・論文
| 题名 | 電磁駆動型シリコンMEMSレゾネータ |
|---|---|
| 著者 | 渡部 善幸 |
| 著者 | 矢作 徹 |
| 著者 | 阿部 泰 |
| 著者 | 村山 裕紀 |
| 出版地（国名编码） | JP |
| 出版地 | [東京] |
| 出版社 | Institute of Electrical Engineers of Japan |
| 出版年月日等 | 34:2017.10.31-11.2 |
| 另外题名 | Electromagnetic Silicon MEMS Resonator |
| 出版年(W3CDTF) | 2017 |
| 主题(关键字) | 電磁駆動 |
| 主题(关键字) | 誘導検出 |
| 主题(关键字) | MEMSレゾネータ |
| 主题(关键字) | マルチモーダルセンサ |
| 主题(关键字) | 振動検出型 |
| 主题(关键字) | electromagnetic drive |
| 主题(关键字) | electromotive force detection |
| 主题(关键字) | MEMS resonator |
| 主题(关键字) | multi-modal sensor |
| 主题(关键字) | vibration sensing |
| NDLC | ZN33 |
| 阅读对象 | 一般 |
| 资料的类别 | 記事・論文 |
| 刊载杂志的信息 (URI形式) | https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000010643656-00 |
| 刊载杂志名 | 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] |
| 刊载卷 | 34 |
| 刊载页 | 1-5 |
| 语言（ISO639-2形式） | jpn : 日本語 |
