記事・論文
| 타이틀 | 電磁駆動型シリコンMEMSレゾネータ |
|---|---|
| 책임표시 | 渡部 善幸 |
| 책임표시 | 矢作 徹 |
| 책임표시 | 阿部 泰 |
| 책임표시 | 村山 裕紀 |
| 출판 지명(국명 코드) | JP |
| 출판 지명 | [東京] |
| 출판사 | Institute of Electrical Engineers of Japan |
| 출판 연월일 등 | 34:2017.10.31-11.2 |
| 별 타이틀 | Electromagnetic Silicon MEMS Resonator |
| 출판 년도(W3CDTF) | 2017 |
| 건명(키워드) | 電磁駆動 |
| 건명(키워드) | 誘導検出 |
| 건명(키워드) | MEMSレゾネータ |
| 건명(키워드) | マルチモーダルセンサ |
| 건명(키워드) | 振動検出型 |
| 건명(키워드) | electromagnetic drive |
| 건명(키워드) | electromotive force detection |
| 건명(키워드) | MEMS resonator |
| 건명(키워드) | multi-modal sensor |
| 건명(키워드) | vibration sensing |
| NDLC | ZN33 |
| 대상이용자 | 一般 |
| 자료 종별 | 記事・論文 |
| 게재지 정보. (URI 형식) | https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000010643656-00 |
| 게재지명 | 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] |
| 게재 권 | 34 |
| 게재 페이지 | 1-5 |
| 언어(ISO639-2 형식) | jpn : 日本語 |
