記事・論文
| タイトル | 電磁駆動型シリコンMEMSレゾネータ |
|---|---|
| 著者 | 渡部 善幸 |
| 著者 | 矢作 徹 |
| 著者 | 阿部 泰 |
| 著者 | 村山 裕紀 |
| 出版地（国名コード） | JP |
| 出版地 | [東京] |
| 出版社 | Institute of Electrical Engineers of Japan |
| 出版年月日等 | 34:2017.10.31-11.2 |
| 別タイトル | Electromagnetic Silicon MEMS Resonator |
| 出版年(W3CDTF) | 2017 |
| 件名（キーワード） | 電磁駆動 |
| 件名（キーワード） | 誘導検出 |
| 件名（キーワード） | MEMSレゾネータ |
| 件名（キーワード） | マルチモーダルセンサ |
| 件名（キーワード） | 振動検出型 |
| 件名（キーワード） | electromagnetic drive |
| 件名（キーワード） | electromotive force detection |
| 件名（キーワード） | MEMS resonator |
| 件名（キーワード） | multi-modal sensor |
| 件名（キーワード） | vibration sensing |
| NDLC | ZN33 |
| 対象利用者 | 一般 |
| 資料の種別 | 記事・論文 |
| 掲載誌情報（URI形式） | https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000010643656-00 |
| 掲載誌名 | 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] |
| 掲載巻 | 34 |
| 掲載ページ | 1-5 |
| 言語（ISO639-2形式） | jpn : 日本語 |
