Effect of External Magnetic Field on Compact Inductively-coupled Reactive Ion Etching Reactor
デジタルデータあり（Japan Link Center）
すぐに読む
CiNii Research
全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- Taisei MOTOMURAKazunori TAKAHASHIYuji KASASHIMA 他
- タイトル（掲載誌）
- Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 58(10):2015.10
- 掲載巻
- 58
- 掲載号
- 10
- 掲載ページ
- 392-396
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2015-10