記事・論文
| タイトル | Effect of External Magnetic Field on Compact Inductively-coupled Reactive Ion Etching Reactor |
|---|---|
| 著者 | Taisei MOTOMURA |
| 著者 | Kazunori TAKAHASHI |
| 著者 | Yuji KASASHIMA 他 |
| 出版地（国名コード） | JP |
| 出版年(W3CDTF) | 2015-10 |
| NDLC | ZN15 |
| 対象利用者 | 一般 |
| 資料の種別 | 記事・論文 |
| 掲載誌情報（URI形式） | https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000008601226-00 |
| 掲載誌情報（ISSN形式） | 18822398 |
| 掲載誌情報（ISSN-L形式） | 18822398 |
| 掲載誌名 | Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空 |
| 掲載巻 | 58 |
| 掲載号 | 10 |
| 掲載ページ | 392-396 |
| 言語（ISO639-2形式） | eng : English |
