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資料種別 記事・論文

表面トポグラフィ測定のための光学式輪郭測定技術の最近の動向

深津 拡也,中村 研人,伊藤 聡史

詳細情報

タイトル 表面トポグラフィ測定のための光学式輪郭測定技術の最近の動向
著者 深津 拡也
著者 中村 研人
著者 伊藤 聡史
シリーズ名 特集 表面粗さに関する最近の動向
出版地(国名コード) JP
別タイトル Recent Trends in Optical Profiling Techniques for Surface Topography
出版年(W3CDTF) 2015
件名(キーワード) optical profiling
件名(キーワード) surface topography
件名(キーワード) texture measurement
件名(キーワード) classification
件名(キーワード) speckle
NDLC ZN11
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000065635-00
掲載誌情報(ISSN形式) 09151168
掲載誌情報(ISSN-L形式) 09151168
掲載誌名 トライボロジスト / 日本トライボロジー学会 編
掲載巻 60
掲載号 1
掲載ページ 31-37
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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