スパッタ法によるチタ...

スパッタ法によるチタン酸バリウム薄膜の作製と評価

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スパッタ法によるチタン酸バリウム薄膜の作製と評価

国立国会図書館請求記号
Z74-F208
国立国会図書館書誌ID
026003761
資料種別
記事
著者
菅沼 幸男ほか
出版者
長野 : 長野県工業技術総合センター
出版年
2014
資料形態
掲載誌名
長野県工業技術総合センター研究報告 (9):2014
掲載ページ
p.63-65
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
菅沼 幸男
水嵜 英明
米久保 荘 他
並列タイトル等
Deposition and Evaluation of Barium Titanate Thin Films Using Sputtering
タイトル(掲載誌)
長野県工業技術総合センター研究報告
巻号年月日等(掲載誌)
(9):2014
掲載号
9
掲載ページ
63-65
掲載年月日(W3CDTF)
2014