記事・論文
タイトル | デバイス内部の応力集中と真性キャリア濃度変化を考慮したnMOSFETの電気特性変動デバイスシミュレーション |
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著者 | 多田 直弘 |
著者 | 小金丸 正明 |
著者 | 池田 徹 他 |
出版地(国名コード) | JP |
別タイトル | Device Simulation for Stress Effects Considering Stress Concentration and Variations of Intrinsic Carrier Density in nMOSFETs |
出版年(W3CDTF) | 2012-09 |
NDLC | ZN33 |
対象利用者 | 一般 |
資料の種別 | 記事・論文 |
掲載誌情報(URI形式) | https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000054465-00 |
掲載誌名 | マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集 |
掲載巻 | 22 |
掲載ページ | 175-178 |
言語(ISO639-2形式) | jpn : 日本語 |