多品種小量生産履歴デ...

多品種小量生産履歴データに基づく半導体ウェハ加工プロセス予測制御モデルの構築手法 : MCMC法による統計的予測モデル構築のエンジニアリングサービス実現 (特集 サービス工学)

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多品種小量生産履歴データに基づく半導体ウェハ加工プロセス予測制御モデルの構築手法 : MCMC法による統計的予測モデル構築のエンジニアリングサービス実現

(特集 サービス工学)

国立国会図書館請求記号
Z4-298
国立国会図書館書誌ID
024039665
資料種別
記事
著者
玉置 研二ほか
出版者
東京 : 日本経営工学会
出版年
2012-10
資料形態
掲載誌名
日本経営工学会論文誌 = Journal of Japan Industrial Management Association 63(3):2012.10
掲載ページ
p.182-195
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
玉置 研二
金子 俊一
シリーズタイトル
並列タイトル等
Method to Build a Predictive Control Model for a Semiconductor Wafer Process Based on Historical Data of Many Products in Small Quantities : Statistical Predictive Model for Engineering Service Using MCMC Method
タイトル(掲載誌)
日本経営工学会論文誌 = Journal of Japan Industrial Management Association
巻号年月日等(掲載誌)
63(3):2012.10
掲載巻
63
掲載号
3