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資料種別 記事・論文

多品種小量生産履歴データに基づく半導体ウェハ加工プロセス予測制御モデルの構築手法 : MCMC法による統計的予測モデル構築のエンジニアリングサービス実現

玉置 研二,金子 俊一

詳細情報

タイトル 多品種小量生産履歴データに基づく半導体ウェハ加工プロセス予測制御モデルの構築手法 : MCMC法による統計的予測モデル構築のエンジニアリングサービス実現
著者 玉置 研二
著者 金子 俊一
シリーズ名 特集 サービス工学
出版地(国名コード) JP
別タイトル Method to Build a Predictive Control Model for a Semiconductor Wafer Process Based on Historical Data of Many Products in Small Quantities : Statistical Predictive Model for Engineering Service Using MCMC Method
出版年(W3CDTF) 2012-10
件名(キーワード) semiconductor
件名(キーワード) CMP
件名(キーワード) process control
件名(キーワード) predictive model
件名(キーワード) production of many products in small quantities
件名(キーワード) MCMC
件名(キーワード) service
件名(キーワード) 半導体
件名(キーワード) プロセス制御
件名(キーワード) 予測モデル
件名(キーワード) 多品種少量生産
件名(キーワード) サービス
NDLC ZD23
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000099191-00
掲載誌情報(ISSN形式) 13422618
掲載誌情報(ISSN-L形式) 13422618
掲載誌名 日本経営工学会論文誌
掲載巻 63
掲載号 3
掲載ページ 182-195
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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