イオンクラスタービーム蒸着法(その6)

イオンクラスタービーム蒸着法(その6)

国立国会図書館請求記号: Z17-692
国立国会図書館書誌ID: 024035917

資料種別: 記事

著者: 林昭

出版者: 東京 : 加工技術研究会

出版年: 2012-10

資料形態: 紙

掲載誌名: コンバーテック 40(10)=475:2012.10

掲載ページ: p.120-123

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書誌情報

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紙

資料種別: 記事
タイトル: イオンクラスタービーム蒸着法(その6)
著者・編者: 林昭
著者標目: 林昭
並列タイトル等: Ionized Cluster Beam Deposition and Epitaxy
タイトル（掲載誌）: コンバーテック
巻号年月日等（掲載誌）: 40(10)=475:2012.10
掲載巻: 40
掲載号: 10
掲載通号: 475
掲載ページ: 120-123
掲載年月日（W3CDTF）: 2012-10
ISSN（掲載誌）: 0911-2316
ISSN-L（掲載誌）: 0911-2316
出版事項（掲載誌）: 東京 : 加工技術研究会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZP17
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z17-692
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 024035917
http://id.ndl.go.jp/bib/024035917
整理区分コード: 632

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