サイトメニューここからこのページの先頭です

ショートカットキーの説明を開始します。画面遷移や機能実行は、説明にあるショートカットキーを同時に押した後、Enterキーを押してください。ショートカットキーの説明を聞くには、Alt+0。トップ画面の表示には、Alt+1。ログインを行うには、Alt+2。簡易検索画面の表示には、Alt+3。詳細検索画面の表示には、Alt+4。障害者向け資料検索画面の表示には、Alt+5。検索結果の並び替えを行うには、Alt+6。国立国会図書館ホームページの表示には、Alt+7。検索結果の絞り込みを行うには、Alt+8。以上でショートカットキーの説明を終わります。

ナビゲーションここから

ナビゲーションここまで

本文ここから

資料種別 記事・論文

TiAlN/SiN積層膜の形成とトライボロジー特性

黒坂 渡,進藤 貴徳,Mei Wang 他

詳細情報

タイトル TiAlN/SiN積層膜の形成とトライボロジー特性
著者 黒坂 渡
著者 進藤 貴徳
著者 Mei Wang 他
出版地(国名コード) JP
別タイトル Deposition and Tribological Properties of TiAlN/SiN Multilayer Coatings
出版年(W3CDTF) 2012-10
件名(キーワード) nano period multilayer film
件名(キーワード) atomic force microscopy
件名(キーワード) TiAlN/SiN
NDLC ZN12
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000043699-00
掲載誌情報(ISSN形式) 09120289
掲載誌情報(ISSN-L形式) 09120289
掲載誌名 精密工学会誌 / 会誌編集委員会 編
掲載巻 78
掲載号 10
掲載通号 934
掲載ページ 905-911
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

本文ここまで

Copyright © 2012 National Diet Library. All Rights Reserved.

フッター ここまで