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資料種別 記事・論文

Performance Improvement of Low-Temperature Polycrystalline Silicon Thin-Film Transistors with Fluorinated Silicate Glass Drive-In Masking Layer

Ching-Lin Fan,Yi-Yan Lin,Shou-Kuan Wang 他

詳細情報

タイトル Performance Improvement of Low-Temperature Polycrystalline Silicon Thin-Film Transistors with Fluorinated Silicate Glass Drive-In Masking Layer
著者 Ching-Lin Fan
著者 Yi-Yan Lin
著者 Shou-Kuan Wang 他
出版地(国名コード) JP
出版年(W3CDTF) 2012-10
NDLC ZM35
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000009262265-00
掲載誌情報(ISSN形式) 00214922
掲載誌情報(ISSN-L形式) 00214922
掲載誌名 Japanese journal of applied physics : JJAP
掲載巻 51
掲載号 10
掲載通号 1
掲載ページ 106502-1-4
言語(ISO639-2形式) eng : English

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