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資料種別 記事・論文

エア分離CPWによるシリコン導波路の基礎検討とKu帯RF-MEMSスイッチへの応用

山根 大輔,サン ウィンストン,川崎 繁男 他

詳細情報

タイトル エア分離CPWによるシリコン導波路の基礎検討とKu帯RF-MEMSスイッチへの応用
著者 山根 大輔
著者 サン ウィンストン
著者 川崎 繁男 他
出版地(国名コード) JP
別タイトル A Study of Air-Suspended Silicon CPW for Ku-Band RF-MEMS Switch Application
出版年(W3CDTF) 2012-10
件名(キーワード) マイクロ波
件名(キーワード) コプレーナ導波路
件名(キーワード) RF-MEMS
件名(キーワード) SOIウェーハ
件名(キーワード) バルクマイクロマシニング
NDLC ZN33
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000108168-00
掲載誌情報(ISSN形式) 13452827
掲載誌情報(ISSN-L形式) 13452827
掲載誌名 電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス / 電子情報通信学会 編
掲載巻 95
掲載号 10
掲載通号 538
掲載ページ 219-227
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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