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資料種別 記事・論文

スパッタリング法によるガラスへの反射防止膜の作製技術

尾山 卓司

詳細情報

タイトル スパッタリング法によるガラスへの反射防止膜の作製技術
著者 尾山 卓司
シリーズ名 特集 誘電体薄膜とその実用化動向
出版地(国名コード) JP
別タイトル Methods of Fabricating Anti-reflection Coatings on Glass Substrate Using Sputtering
出版年(W3CDTF) 2012-10
件名(キーワード) Anti-reflection
件名(キーワード) Reactive sputtering
件名(キーワード) Arcing
NDLC ZP9
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(URI形式) https://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000039113-00
掲載誌情報(ISSN形式) 0009031X
掲載誌情報(ISSN-L形式) 0009031X
掲載誌名 Ceramics Japan : Bulletin of the Ceramic Society of Japan / 日本セラミックス協会 [編]
掲載巻 47
掲載号 10
掲載ページ 777-781
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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