プラズマ・核融合学会 編森北出版2017.1<M213-L165>
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- 要約等ナノ・アトムテクノロジーへの広がりを背景に，プラズマプロセス技術を基礎から応用まで解説．最先端の技術的指針を与える．
沖村 邦雄<Z16-474>表面と真空 = Vacuum and surface science / 日本表面科学会, 日本真空学会 編61(2):2018.2p.88-90
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- 参照...009) スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP 部会）の設立と発展の軌跡 The 8th Int...
畑 朋延<Z16-474>Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空57(1):2014.1p.32-34
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2023-12-10表面と真空66 12p.726-726
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2023-07-10表面と真空66 7p.416-416
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2023-03-10表面と真空66 3p.186-186
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2023-02-10表面と真空66 2p.123-123
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2022-12-10表面と真空65 12p.589-589
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2021-05-05物理學會誌76 5p.315-316
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- 要約等<p>新著紹介</p><p>プラズマプロセス技術；ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー</p>
2021-12-10表面と真空64 12p.575-575
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2021-11-10表面と真空64 11p.527-527
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2022-10-10表面と真空65 10p.484-484
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2018-09-05応用物理学会学術講演会講演予稿集2018.2 0p.36-36
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2021-01-10表面と真空64 1p.47-47
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2020-03-10表面と真空63 3p.142-142
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沖村 邦雄2018表面と真空61 2p.88-90
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2019-06-10表面と真空62 6p.383-384
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2018-11-10表面と真空61 11p.736-736
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2019-03-10表面と真空62 3p.171-171
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