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検索結果 55 件

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技術紹介 SiGe薄膜の成長に適したガス精製/除害技術

紙記事

富田修康, 小野宏之<Z17-1192>日本酸素技報(22) 2003p.24～26

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掲載誌（ISSN）0914-8280
掲載誌（ISSN-L）0914-8280

日本酸素技報

紙デジタル雑誌

日本酸素技術本部「日本酸素技報」編集事務局1982-2003<Z17-1192>

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ISSN0914-8280
ISSN-L0914-8280

技術報告深冷空気分離装置の前処理TSA装置のシミュレータ開発

紙記事

浦上達司, 長坂徹, 中村守光<Z17-1192>日本酸素技報(22) 2003p.13～18

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技術報告高速酸素バーナーランス(SCOPE-JET)の開発

紙記事

五十嵐弘, 阿部智信, 三宅新一他<Z17-1192>日本酸素技報(22) 2003p.7～12

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技術報告量子化学法によるトリクロロシランと吸着水の気相反応機構

紙記事

中村康一, 立花明知, 鈴木克昌他<Z17-1192>日本酸素技報(22) 2003p.2～6

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技術紹介地球温暖化対策に向けたPFC排出量の低減

紙記事

吉田秀俊, 新田昭彦, 増崎宏<Z17-1192>日本酸素技報(22) 2003p.27～29

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技術紹介タービン駆動式低温圧縮機の高性能化

紙記事

池田真, 大内信明, 平井寛一<Z17-1192>日本酸素技報(22) 2003p.19～21

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技術報告半導体プロセスガス中の粒子制御技術評価のための溶接ヒュームを用いた超微粒子含有ドライガス発生法

紙記事

坂田晋, 君島哲也, 木村裕<Z17-1192>日本酸素技報(21) 2002p.15～19

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技術報告クリプトンガスを用いたマイクロ波励起高密度プラズマプロセス

紙記事

大見忠弘, 石原良夫, 長谷川英晴<Z17-1192>日本酸素技報(21) 2002p.2～7

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技術報告リアクターサイズ2インチ×3横型大気圧GaN-MOCVD装置の開発

紙記事

阿久津仲男, 山口晃, 畠山文明他<Z17-1192>日本酸素技報(21) 2002p.8～14

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技術報告磁気軸受式膨張タービンの開発

紙記事

平井寛一, 大内信明, 弘川昌樹<Z17-1192>日本酸素技報(21) 2002p.20～25

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技術報告モデル予測制御に基づく空気分離装置の安定化手法

紙記事

石瑛, 新井一成<Z17-1192>日本酸素技報(21) 2002p.26～31

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技術報告 ppbレベルの標準水分発生装置の製作とその評価

紙記事

菊地勉, 佐藤哲也, 坂田晋他<Z17-1192>日本酸素技報(20) 2001p.34～40

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日本酸素技報 1～20号総目次

紙記事

<Z17-1192>日本酸素技報(20) 2001p.82～88

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空気液化分離装置のための空気の前処理精製

紙記事

川井雅人<Z17-1192>日本酸素技報(20) 2001p.12～16

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有機金属錯体の開発

紙記事

小林一三<Z17-1192>日本酸素技報(20) 2001p.27～33

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技術報告物性推算法の深冷空気分離プロセス計算への影響

紙記事

福田信治, 矢野聡章<Z17-1192>日本酸素技報(20) 2001p.47～50

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空気分離装置の試運転技術の変遷

紙記事

岡本孝一<Z17-1192>日本酸素技報(20) 2001p.17～20

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化合物半導体の有機金属気相成長技術--日本酸素における取り組み

紙記事

松本功<Z17-1192>日本酸素技報(20) 2001p.21～26

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技術紹介高純度ガス中の微量金属不純物分析の信頼性評価

紙記事

坂田晋, 中川克広, 中村久夫<Z17-1192>日本酸素技報(20) 2001p.51～53

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