静電2軸MEMS光スキャナの絶縁構造
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国立国会図書館デジタルコレクション
書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 河野清彦萩原洋右上田英喜
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2008-09
- 出版年（W3CDTF）
- 2008-09
- 並列タイトル等
- Two-dimensional optical MEMS scanner with novel electrical insulation structure
- タイトル（掲載誌）
- 松下電工技報
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 56(3)
- 掲載巻
- 56(3)