世界初,「High-kメタル・ゲートファースト」プロセスでシステムLSIを量産出荷開始
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国立国会図書館デジタルコレクション
書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2011-01
- 出版年（W3CDTF）
- 2011-01
- タイトル（掲載誌）
- パナソニック技報
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 56(4)
- 掲載巻
- 56(4)
- 本文の言語コード
- jpn
- 国立国会図書館永続的識別子
- info:ndljp/pid/11012648