シリサイド系半導体の科学と技術 : 資源・環境時代の新しい半導体と関連物質
シリサイド系半導体の科学と技術 : 資源・環境時代の新しい半導体と関連物質
- 国立国会図書館請求記号
- MC151-L2
- 国立国会図書館書誌ID
- 025785956
資料詳細
要約等：
- シリサイド系半導体の物性と応用技術を解説（提供元: 出版情報登録センター（JPRO））
著者紹介：
- 前田 佳均 九州工業大学教授、博士（工学）。1959年生まれ。京都大学工学部卒業、京都大学大学院工学研究科修了。（株）日立製作所、大阪府立大学講師・助教授、英国サリー大学客員研究員、京都大学助教授・准教授などを経て現職。専門は半導体物性工学、ナノ構造光物性。（提供元: 出版情報登録センター（JPRO...
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目次
1．シリサイド系半導体の基礎
2．結晶成長技術
3．薄膜形成技術
4．構造解析
5．鉄シリサイドの物性
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千葉県立西部図書館
紙- 請求記号：
- 5498/ 182/
- 図書登録番号：
- 1102381635
東京都立中央図書館
紙- 請求記号：
- 549.8-5289-2014
- 図書登録番号：
- 7104684553
神奈川県立川崎図書館
紙- 請求記号：
- 549.8-377
- 図書登録番号：
- 81619579
相模原市立図書館
紙- 図書登録番号：
- 32252298
東海・北陸
愛知県図書館
紙- 請求記号：
- 549.8-ﾏｴ-1092703
- 図書登録番号：
- 1110927039
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 978-4-7853-2920-4
- タイトルよみ
- シリサイドケイ ハンドウタイ ノ カガク ト ギジュツ : シゲン カンキョウ ジダイ ノ アタラシイ ハンドウタイ ト カンレン ブッシツ
- 著者・編者
- 前田佳均 編著
- 著者標目
- 前田, 佳均, 1959- マエダ, ヨシヒト, 1959- ( 001184361 )典拠
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2014.9
- 出版年（W3CDTF）
- 2014
- 数量
- 324p