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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- William Makoto Nakamura [著]
- 著者標目
- 中村ウィリアム誠 ナカムラ ウィリアム マコト
- 出版年月日等
- [2010]
- 出版年（W3CDTF）
- 2010
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- クラスタ制御プラズマ化学堆積による高安定a-Si:H薄膜の高速堆積 クラスタ セイギョ プラズマ カガク タイセキ ニ ヨル コウアンテイ a-Si:H ハクマク ノ コウソク タイセキ
- 授与機関名
- 九州大学