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資料種別 会議録

Analytical techniques for semiconductor materials and process characterization 6 : (ALTECH 2009). : ALTECH 2009 symposium on "analytical techniques for semiconductor materials and process characterization 6" : 216th meeting of the Electrochemical Society : ECS Vienna meeting : Oct 2009, Vienna, Austria

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タイトル Analytical techniques for semiconductor materials and process characterization 6 : (ALTECH 2009). : ALTECH 2009 symposium on "analytical techniques for semiconductor materials and process characterization 6" : 216th meeting of the Electrochemical Society : ECS Vienna meeting : Oct 2009, Vienna, Austria
シリーズ名 ECS Transactions, 25 (no. 3)
出版地(国名コード) US
出版地Pennington
出版社Electrochemical Society
出版年月日等 c2009
大きさ、容量等 x, 465 p. : ill. ; 24 cm
注記 ISBN : 9781566777407 (Hardcover), 9781607680901 (PDF)
注記 ISSN : 1938-6737 (online)
注記 Papers
注記 "The ALTECH 2009 symposium (...) It is the sixth symposium in a series of symposia (...) " -- pref
注記 Includes bibliographical references and author index
ISBN 9781566777407
ISBN 9781607680901
ISSN 19386737
ISSN 19385862 (print)
別タイトル Dielectric and semiconductor materials, devices, and processing
出版年(W3CDTF) 2009
NDLC M17
資料の種別 図書
資料の種別 会議録

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