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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- シリコン キバン ニ コウシ セイゴウサセタ カゴウブツ ハンドウタイ ケッショウ セイチョウ
- 著者・編者
- 高野泰, 静岡大学 [著]
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2006-20072008.5
- 出版年（W3CDTF）
- 20062007
- 数量
- 62枚
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
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