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省電力LSI用高誘電率ゲート絶縁膜の薄膜スケーリング手法の構築

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省電力LSI用高誘電率ゲート絶縁膜の薄膜スケーリング手法の構築

国立国会図書館請求記号
Y151-H18360152
国立国会図書館書誌ID
000009580185
資料種別
図書
著者
中島寛, 九州大学 [著]
出版者
[中島寛]
出版年
2006-2007
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ショウデンリョク LSIヨウ コウユウデンリツ ゲート ゼツエンマク ノ ハクマク スケーリング シュホウ ノ コウチク
著者・編者
中島寛, 九州大学 [著]
著者標目
中島, 寛 ナカシマ, ヒロシ
九州大学 キュウシュウ ダイガク
出版事項
出版年月日等
2006-2007
2008.5
出版年(W3CDTF)
2006
2007
数量
1冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)