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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ヘリウム キシャク プラズマ CVDホウ ニ ヨリ ケイセイシタ テトラヘドラルケイ アモルファス ハンドウタイマク ノ セイシツ ト タイヨウ デンチ エ ノ オウヨウ
- 著者・編者
- 小澤勇 [著]
- 著者標目
- 小澤, 勇 オザワ, イサム
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2008]
- 出版年（W3CDTF）
- 2008
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 静岡大学
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