本書は、薄膜に関する基礎事項や応用技術をまとめたハンドブック。基礎編と応用編の2編構成で、基礎編では、薄膜作製法(1章)、薄膜形成・成長機構(2章)、薄膜の評価(3章)、薄膜の物性(4章)についてまとめている。第4章では、材料特性別に①電気伝導、②半導体、③誘電、④磁気、⑤光学、⑥化学、⑦機械、⑧熱の各特性を取り上げている。応用編では、第1章で代表的な基板の準備法や薄膜作製装置について紹介し、続いて、電子(2章)、光エレクトロニクス(3章)、ディスプレイ(4章)、表示・撮像(第5章)、磁気(6章)、センサ(7章)、エネルギー(8章)、光学(10章)、バイオ機能(13章)、超伝導(14章)の各デバイスのほか、実装技術(9章)、メカトロニクス部品(11章)、表面機能化(12章)についても解説している。第2章では、(1)Si系半導体、(2)化合物半導体、(3)ワイドギャップ半導体、(4)有機半導体の各デバイスについて、第3章では、(1)発光デバイス(発光ダイオードや半導体レーザー)、(2)受光デバイス、(3)光ディスク、(4)テラヘルツ波発生・検出デバイスについて、第4章では、(1)無機EL、(2)有機EL、(3)LCD、(4)PDP、(5)FED、(6)FPD用構成部材、(7)蛍光体についてまとめています。第7章では、(1)力学センサ、(2)ガス・においセンサ、(3)赤外線センサ、(4)磁気センサ、(5)味センサについて、第8章では、(1)太陽電池(薄膜シリコン、化合物半導体薄膜、色素増感、有機薄膜)、(2)燃料電池、(3)2次電池(リチウムイオン、有機ラジカル)などについて、第9章では、実装材料・プロセス技術、パッケージ材料用プロセスなどについて解説している。