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資料種別 マイクロ資料

Bright-chromium linewidth standard, SRM 476, for calibration of optical microscope linewidth measuring systems / Carol F. Vezzetti, Ruth N. Varner, James E. Potzick

詳細情報

タイトル Bright-chromium linewidth standard, SRM 476, for calibration of optical microscope linewidth measuring systems / Carol F. Vezzetti, Ruth N. Varner, James E. Potzick
シリーズ名 Standard reference materials
シリーズ名 NIST special publication ; 260-114
出版地(国名コード) US
出版年 1991
大きさ、容量等 microfiche ; 11 × 15 cm
注記 Distributed to depository libraries in microfiche
注記 No longer available for sale by the Supt. of Docs
注記 "Issued January 1991."
注記 Physical description for original version: xii, 33 p. : 28 cm
注記 Includes bibliographical references (p. 11-12)
注記 原資料の出版事項: Gaithersburg, MD : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology, 1991
注記 SUPTDOC番号: C 13.10: 260-114
注記 GPO管理番号: 0247 (MF)
WorldCatへのリンク 24327875
別タイトル Bright chromium linewidth standard, SRM 476, for calibration of optical microscope linewidth measuring systems
件名(キーワード) Microscopes -- Calibration -- Standards
件名(キーワード) Integrated circuits -- Masks -- Measurement
件名(キーワード) Chromium -- Spectra -- Standards
資料の種別 図書
資料の種別 マイクロ資料
言語(ISO639-2形式) eng : English

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