博士論文

熱陰極直流放電プラズマによる銅基板上への絶縁膜生成と物性評価

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熱陰極直流放電プラズマによる銅基板上への絶縁膜生成と物性評価

国立国会図書館請求記号
UT51-2003-K906
国立国会図書館書誌ID
000004220242
資料種別
博士論文
著者
加藤達也 [著]
出版者
[加藤達也]
出版年
2002
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
静岡大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
ネツ インキョク チョクリュウ ホウデン プラズマ ニ ヨル ドウ キバンジョウ エノ ゼツエンマク セイセイ ト ブッセイ ヒョウカ
著者・編者
加藤達也 [著]
著者標目
加藤, 達也 カトウ, タツヤ
出版事項
出版年月日等
2002
出版年(W3CDTF)
2002
数量
1冊
授与機関名
静岡大学