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薄膜作製応用ハンドブック

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薄膜作製応用ハンドブック

国立国会図書館請求記号
ND2-G6
国立国会図書館書誌ID
000002493625
資料種別
図書
著者
多賀康訓 [ほか]編
出版者
エヌ・ティー・エス
出版年
1995.11
資料形態
ページ数・大きさ等
1187p ; 27cm
NDC
549
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資料に関する注記

一般注記:

監修: 権田俊一

資料詳細

要約等:

各界の権威百余名の総力を結集した、現代薄膜技術の決定版。今日,各産業分野で益々その重要性が高まる薄膜技術を、実際的な応用と(提供元: 出版情報登録センター(JPRO))

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目次

  • 序論 薄膜技術とその応用の現状と動向/ 3

    権田俊一

  • 1. はじめに/ 3

  • 2. 作製技術/ 3

  • 2.1 作製技術全般について/ 3

  • 2.2 作製技術の動向/ 4

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
4-900830-06-2
タイトルよみ
ハクマク サクセイ オウヨウ ハンドブック
著者・編者
多賀康訓 [ほか]編
著者標目
多賀, 康訓 タガ, ヤスノリ ( 00417377 )典拠
出版年月日等
1995.11
出版年(W3CDTF)
1995
数量
1187p