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シリコン : 結晶成長とウェーハ加工 (アドバンストエレクトロニクスシリーズ ; 1. エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 5)

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シリコン : 結晶成長とウェーハ加工

(アドバンストエレクトロニクスシリーズ ; 1. エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 5)

国立国会図書館請求記号
ND371-E194
国立国会図書館書誌ID
000002328902
資料種別
図書
著者
阿部孝夫 著
出版者
培風館
出版年
1994.5
資料形態
ページ数・大きさ等
361p ; 22cm
NDC
549.8
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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
4-563-03605-6
タイトルよみ
シリコン
著者・編者
阿部孝夫 著
著者標目
阿部, 孝夫, 1936- アベ, タカオ, 1936- ( 00156413 )典拠
出版事項
出版年月日等
1994.5
出版年(W3CDTF)
1994