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実験物理学講座 8

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実験物理学講座. 8

国立国会図書館請求記号
422-Z27
国立国会図書館書誌ID
000002202190
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/1383869
資料種別
図書
著者
近角聡信 [ほか]企画編集
出版者
共立出版
出版年
1992.9
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
418p ; 22cm
NDC
420.72
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資料詳細

内容細目:

薄膜 / 権藤靖夫 責任編集薄膜製作技術 真空蒸着法 末沢慶孝,権藤靖夫著. プラズマやイオンを用いた成膜法 松原覚衛著. スパッタ法 中井順吉著. 化学的方法 有住徹弥著. 薄膜 導電体薄膜・誘電体薄膜・半導体薄膜 中井順吉著. 磁性薄膜 角野圭一著. 超伝導薄膜 菅原昌敬著. 人工格子膜 新庄輝...

要約等:

第I部では薄膜製作の代表的な実験技術を体系的に詳説し、第II部では導電体薄膜、誘電体薄膜、半導体薄膜、磁性薄膜、超電導薄膜、人工格子膜の物性について、薄膜製作条件と関係させながら丁寧に論じた総合的大系書。(提供元: 出版情報登録センター(JPRO))

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目次

  • 目次

  • I. 薄膜製作技術

  • 1. 真空蒸着法 末澤慶孝・権藤靖夫

  • 1・1 はしがき

    p1

  • 1・2 真空蒸着過程

    p3

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書誌情報

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デジタル

資料種別
図書
ISBN
4-320-03063-X
タイトルよみ
ジッケン ブツリガク コウザ
巻次・部編番号
8
著者・編者
近角聡信 [ほか]企画編集
著者標目
近角, 聡信, 1922- チカスミ, ソウシン, 1922- ( 00084092 )典拠
権藤, 靖夫, 1926- ゴンドウ, ヤスオ, 1926- ( 00212069 )典拠
出版年月日等
1992.9
出版年(W3CDTF)
1992