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目次
第1章 薄膜の形成
第2章 イオンビームの作用
第3章 種々のイオンの照射効果を用いた薄膜形成法
第4章 プラズマ中での薄膜形成法
第5章 真空中での薄膜形成法
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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 4-320-08515-9
- タイトル
- タイトルよみ
- イオン ビーム ニ ヨル ハクマク セッケイ
- 著者・編者
- 山田公 著
- シリーズタイトル
- 著者標目
- 山田, 公, 1936- ヤマダ, イサオ, 1936- ( 00212816 )典拠
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1991.9
- 出版年(W3CDTF)
- 1991