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イオンビームによる薄膜設計 (表面・薄膜分子設計シリーズ ; 15)

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イオンビームによる薄膜設計

(表面・薄膜分子設計シリーズ ; 15)

国立国会図書館請求記号
ND371-E95
国立国会図書館書誌ID
000002133895
資料種別
図書
著者
山田公 著
出版者
共立出版
出版年
1991.9
資料形態
ページ数・大きさ等
114p ; 19cm
NDC
549
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資料に関する注記

一般注記:

叢書の編者: 日本表面科学会

資料詳細

要約等:

イオンビームの作用、役割から種々の薄膜形成法及び形成した薄膜の応用までをわかり易く解説。(提供元: 出版情報登録センター(JPRO))

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目次

  • 第1章 薄膜の形成

  • 第2章 イオンビームの作用

  • 第3章 種々のイオンの照射効果を用いた薄膜形成法

  • 第4章 プラズマ中での薄膜形成法

  • 第5章 真空中での薄膜形成法

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資料種別
図書
ISBN
4-320-08515-9
タイトルよみ
イオン ビーム ニ ヨル ハクマク セッケイ
著者・編者
山田公 著
著者標目
山田, 公, 1936- ヤマダ, イサオ, 1936- ( 00212816 )典拠
出版年月日等
1991.9
出版年(W3CDTF)
1991