博士論文

プラズマ励起化学気相堆積法によるTiOx膜の堆積過程および薄膜評価に関する研究

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プラズマ励起化学気相堆積法によるTiOx膜の堆積過程および薄膜評価に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2001-R607
国立国会図書館書誌ID
000000413656
資料種別
博士論文
著者
中村正俊 [著]
出版者
[中村正俊]
出版年
2001
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
静岡大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
プラズマ レイキ カガク キソウ タイセキホウ ニ ヨル TiOxマク ノ タイセキ カテイ オヨビ ハクマク ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
中村正俊 [著]
著者標目
中村, 正俊 ナカムラ, マサトシ
出版事項
出版年月日等
2001
出版年(W3CDTF)
2001
数量
1冊
授与機関名
静岡大学