走査型プローブ顕微鏡による薄膜表面の測定及び加工に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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第1章 序論
p1
1.1 はじめに
p1
1.2 走査型トンネル顕微鏡(STM)/原子間力顕微鏡(AFM)の原理
p2
1.3 走査型プローブ顕微鏡(SPM)測定の問題と本研究の目的
p8
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ソウサガタ プローブ ケンビキョウ ニ ヨル ハクマク ヒョウメン ノ ソクテイ オヨビ カコウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 岩田太 [著]
- 著者標目
- 岩田, 太 イワタ, フトシ
- 授与機関名
- 静岡大学
- 授与年月日
- 平成9年6月22日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1997
- 報告番号
- 乙第85号
- 学位
- 博士 (工学)