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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p3
第1章 序論
p1
1.1節 MOCVD法の背景
p3
1.2節 リモートプラズマCVD法の背景
p6
1.3節 研究の概説,目的
p8
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- リモート プラズマ レイキ ユウキ キンゾク カガク キソウ タイセキホウ ニ ヨル ZnSe ノ セイチョウ
- 著者・編者
- 青木徹 [著]
- 著者標目
- 青木, 徹 アオキ, トオル
- 授与機関名
- 静岡大学
- 授与年月日
- 平成8年3月23日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1996
- 報告番号
- 甲第128号
- 学位
- 博士 (工学)