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気相温度制御化学気相成長法によるアルミニウム単結晶薄膜成長の研究

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気相温度制御化学気相成長法によるアルミニウム単結晶薄膜成長の研究

国立国会図書館請求記号
UT51-94-A248
国立国会図書館書誌ID
000000267191
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3072796
資料種別
博士論文
著者
小林司 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
静岡大学,博士 (工学)
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目次

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  • 第1章.序論

    p1

  • 1-1.本研究の背景

    p1

  • 1-2.本研究の目的

    p5

  • 1-3.本論文の構成

    p6

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
キソウ オンド セイギョ カガク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル アルミニウム タンケッショウ ハクマク セイチョウ ノ ケンキュウ
著者・編者
小林司 [著]
著者標目
小林, 司 コバヤシ, ツカサ
授与機関名
静岡大学
授与年月日
平成5年12月22日
授与年月日(W3CDTF)
1993
報告番号
乙第53号
学位
博士 (工学)