Simulation of the time evolution profiles in nanoimprint lithography

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Simulation of the time evolution profiles in nanoimprint lithography

国立国会図書館請求記号
Z53-W515
国立国会図書館書誌ID
8919393
資料種別
記事
著者
Toshiaki Tanabeほか
出版者
Chiba : The Society of Photopolymer Science and Technology
出版年
2007
資料形態
掲載誌名
Journal of photopolymer science and technology 20(4) 2007
掲載ページ
p.573~576
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
Toshiaki Tanabe
Masaaki Nishihara
Hiroyuki Kawata 他
タイトル(掲載誌)
Journal of photopolymer science and technology
巻号年月日等(掲載誌)
20(4) 2007
掲載巻
20
掲載号
4
掲載ページ
573~576
掲載年月日(W3CDTF)
2007