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資料種別 記事・論文

Status and challenges of template fabrication process for UV nanoimprint lithography

Masaaki Kurihara

詳細情報

タイトル Status and challenges of template fabrication process for UV nanoimprint lithography
著者 Masaaki Kurihara
出版年 2007
件名(キーワード) UV nano-imprint
件名(キーワード) tenplate
件名(キーワード) semiconductor
件名(キーワード) 3D structural templates
件名(キーワード) anti-sticking layer
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09149244
掲載誌情報(ISSNL形式) 09149244
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000156586-00
掲載誌名 Journal of photopolymer science and technology
掲載巻 20
掲載号 4
掲載ページ 563~567
言語(ISO639-2形式) eng : English

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