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資料種別 記事・論文

Evaluation of next generation fluids for ArF immersion lithography beyond water

Hoang V. Tran,Roger H. French,Douglas J. Adelman 他

詳細情報

タイトル Evaluation of next generation fluids for ArF immersion lithography beyond water
著者 Hoang V. Tran
著者 Roger H. French
著者 Douglas J. Adelman 他
出版年 2007
件名(キーワード) immersion lithography
件名(キーワード) second generation fluid
件名(キーワード) third generation fluid
件名(キーワード) hydrocarbons
件名(キーワード) refractive index
件名(キーワード) absorbance
件名(キーワード) fluid handling
件名(キーワード) radiation durability
件名(キーワード) active recycle
件名(キーワード) window contamination
件名(キーワード) particle contamination
件名(キーワード) leaching
件名(キーワード) resist / fluid interactions
件名(キーワード) defectivity
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09149244
掲載誌情報(ISSNL形式) 09149244
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000156586-00
掲載誌名 Journal of photopolymer science and technology
掲載巻 20
掲載号 5
掲載ページ 729~738
言語(ISO639-2形式) eng : English

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