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資料種別 記事・論文

Analysis of outgassing from EUV resists

Shinji Kobayashi,Minoru Toriumi,Julius Joseph Santillan 他

詳細情報

タイトル Analysis of outgassing from EUV resists
著者 Shinji Kobayashi
著者 Minoru Toriumi
著者 Julius Joseph Santillan 他
出版年 2007
件名(キーワード) EUV photoresist
件名(キーワード) outgassing
件名(キーワード) Pressure rise method
件名(キーワード) GC-MS method
件名(キーワード) QMS
件名(キーワード) Reaction rate
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09149244
掲載誌情報(ISSNL形式) 09149244
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000156586-00
掲載誌名 Journal of photopolymer science and technology
掲載巻 20
掲載号 3
掲載ページ 445~451
言語(ISO639-2形式) eng : English

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