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資料種別 記事・論文

EUV resist outgassing: how much is too much?

Kim R. Dean,Gregory Denbeaux,Andrea Wuest 他

詳細情報

タイトル EUV resist outgassing: how much is too much?
著者 Kim R. Dean
著者 Gregory Denbeaux
著者 Andrea Wuest 他
出版年 2007
件名(キーワード) extreme ultraviolet
件名(キーワード) EUV
件名(キーワード) EUV resist
件名(キーワード) outgassing
件名(キーワード) contamination
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09149244
掲載誌情報(ISSNL形式) 09149244
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000156586-00
掲載誌名 Journal of photopolymer science and technology
掲載巻 20
掲載号 3
掲載ページ 393~402
言語(ISO639-2形式) eng : English

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