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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 嶋崎 綾子桜井 宏紀吉村 玲子 他
- 並列タイトル等
- Contamination control of metallic impurities in ULSI manufacturing process: diffusion behavior of new material elements
- タイトル(掲載誌)
- 電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C / 電子情報通信学会 編
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 90(8) (通号 476) 2007.8
- 掲載巻
- 90
- 掲載号
- 8
- 掲載通号
- 476