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資料種別 記事・論文

20世紀とシリコン単結晶

阿部 孝夫

詳細情報

タイトル 20世紀とシリコン単結晶
著者 阿部 孝夫
シリーズ名 [「応用物理」創刊75周年記念]特集記事
出版年 2007-08
別タイトル 20th century and silicon single crystals
件名(キーワード) silicon single crystal
件名(キーワード) dislocation-free crystal
件名(キーワード) poly crystal
件名(キーワード) czochralski method
件名(キーワード) floating zone method
件名(キーワード) oxygen precipitation
件名(キーワード) intrinsic gettering
件名(キーワード) metal contamination
件名(キーワード) RCA cleaning
件名(キーワード) vacancy
件名(キーワード) interstitial silicon
件名(キーワード) COP
件名(キーワード) octahedral void defect
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 03698009
掲載誌情報(ISSNL形式) 03698009
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000002415-00
掲載誌名 応用物理
掲載巻 76
掲載号 8
掲載ページ 927~932
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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