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資料種別 記事・論文

シリコン結晶技術と超LSI

津屋 英樹

詳細情報

タイトル シリコン結晶技術と超LSI
著者 津屋 英樹
シリーズ名 [「応用物理」創刊75周年記念]特集記事
出版年 2007-08
別タイトル Silicon crystal technologies for ultra large scale integration
件名(キーワード) ULSI
件名(キーワード) silicon wafer
件名(キーワード) CZ silicon crystal growth
件名(キーワード) silicon epitaxial growth
件名(キーワード) silicon wafer processing
件名(キーワード) DRAM
件名(キーワード) leakage current
件名(キーワード) gettering
件名(キーワード) bulk micro defect
件名(キーワード) COP
件名(キーワード) metal contamination
件名(キーワード) SOI
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 03698009
掲載誌情報(ISSNL形式) 03698009
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000002415-00
掲載誌名 応用物理
掲載巻 76
掲載号 8
掲載ページ 906~912
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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