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資料種別 記事・論文

PVDによる硬質膜形成とその工業的応用

川名 淳雄

詳細情報

タイトル PVDによる硬質膜形成とその工業的応用
著者 川名 淳雄
シリーズ名 小特集 最近の話題を追って(2)
出版年 2007-08
別タイトル The hard ceramics coating by PVD and the industrial application
件名(キーワード) PVD
件名(キーワード) DLC
件名(キーワード) Radical Nitride
件名(キーワード) Duplex Treatment
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 09151869
掲載誌情報(ISSNL形式) 09151869
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000066619-00
掲載誌名 表面技術 / 表面技術協会 [編]
掲載巻 58
掲載号 8
掲載ページ 440~444
言語(ISO639-2形式) jpn : 日本語

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