Generation of highly uniform plasma on the grounded electrode surface by radio frequency discharge with the use of modified multi hollow cathodes
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- Kiyoyuki Yambe
- 著者標目
- タイトル（掲載誌）
- Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 46(9A) (通号 659) 2007.9
- 掲載巻
- 46
- 掲載号
- 9A
- 掲載通号
- 659
- 掲載ページ
- 6032～6036