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資料種別 記事・論文

Generation of highly uniform plasma on the grounded electrode surface by radio frequency discharge with the use of modified multi hollow cathodes

Kiyoyuki Yambe

詳細情報

タイトル Generation of highly uniform plasma on the grounded electrode surface by radio frequency discharge with the use of modified multi hollow cathodes
著者 Kiyoyuki Yambe
出版年 2007-09
件名(キーワード) plasma processing
件名(キーワード) uniform plasma
件名(キーワード) hollow-cathode discharge
件名(キーワード) RF discharge
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 00214922
掲載誌情報(ISSNL形式) 00214922
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000159719-00
掲載誌名 Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
掲載巻 46
掲載号 9A
掲載通号 659
掲載ページ 6032~6036
言語(ISO639-2形式) eng : English

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