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資料種別 記事・論文

Annealing of hydrogenated diamond-like carbon films deposited on ground electrode of plasma enhanced chemical vapor deposition system

Katsuhiro Yokota,Takahiro Nakatani,Fumiyoshi Miyashita

詳細情報

タイトル Annealing of hydrogenated diamond-like carbon films deposited on ground electrode of plasma enhanced chemical vapor deposition system
著者 Katsuhiro Yokota
著者 Takahiro Nakatani
著者 Fumiyoshi Miyashita
出版年 2007-09
件名(キーワード) annealing
件名(キーワード) low k
件名(キーワード) DLC
件名(キーワード) PE-CVD
対象利用者 一般
資料の種別 記事・論文
掲載誌情報(ISSN形式) 00214922
掲載誌情報(ISSNL形式) 00214922
掲載誌情報(URI形式) http://iss.ndl.go.jp/books/R100000002-I000000159719-00
掲載誌名 Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
掲載巻 46
掲載号 9A
掲載通号 659
掲載ページ 5901~5907
言語(ISO639-2形式) eng : English

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