GaAsのスクラッチ加工におけるクラック発生機構の結晶方位依存性(第1報)GaAsにおけるクラック発生機構の特異性
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 森田 昇川堰 宣隆田代 雄介 他
- 並列タイトル等
- Dependence of crack generation process on crystal orientation in scratching of gallium arsenide: 1st report: specificity of crack generation in gallium arsenide
- タイトル（掲載誌）
- Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 51(9) (通号 301) 2007.9
- 掲載巻
- 51
- 掲載号
- 9
- 掲載通号
- 301